Kiki NITSU燃烧式尾气处理设备
新型薄膜太阳能光伏、液晶TFT-LCD薄膜CVD制程专用燃烧式尾气处理设备。
KikiNITSU新型燃烧式薄膜CVD制程尾气处理设备, 为日本『木麒制作所』KikiSEISAKUSYO累积多年经验及制作研发上的深厚基础上, 参酌*新世界**规范, 评鉴过往美日业界同类型机发展的得失后, 开发出近年来*适用于非晶硅薄膜太阳能电池、新世代液晶显示器等PECVD制程尾气处理的新型燃烧式处理设备。
Kiki NITSU燃烧式尾气处理设备的用途
可处**体种类包括非晶硅薄膜太阳能电池、新世代液晶显示器等PECVD制程中产生的废气。
Kiki NITSU燃烧式尾气处理设备的主要特点：
1. 全机整体新思维**设计, 高**标准自我诊断异常及意外预防应对 规格, 同时通过了德国TUV*新SEMI S2, SEMI S8, EN 60204-1: 2006认证。
2．独特涡流火焰燃烧器, 拥有处理量特大﹑处理效率优异﹑及长时间运转之*高稳定信赖性。
3．CH4﹑C3H8双燃料机型, 具燃料节约控制设计, 符合经济节能与环保要求。
4．良好机械架构设计与人机界面程序, 操作容易上手、停机保养频率低、保养简单快速、零料件经久耐用等众多优点.
5．燃烧反应室可定时自动清洁, 长时间运转效率稳定, 特别适合应用于非晶硅薄膜太阳能电池、大尺寸液晶生产等之高SiH4、 PH3及NF3、SF6气体使用, 并大量产出SiO2、P2O5易衍生粉尘堆积及大量高浓度HF酸腐蚀气体的PECVD制程尾气处理。
Kiki NITSU主要气体处理反应
REACTION | POWDER (g/l) |
2H2 + O2 → 2H2O | |
B2H6 + 3O2 → B2O3 + 3H2O | 3.11 |
4NH3 + 3O2 → 2N2 + 6H2O | |
2NF3 + 3H2 → 6HF + N2 | |
4NF3 + 3CH4 + 3O2 → 2N2 + 3CO2 + 12HF | |
2PH3 + 4O2 → P2O5 + 3 H2O | 3.17 |
SiH4 + 2O2 → SiO2 + 2 H2O | 2.68 |
2Si2H6 + 7O2 → 4SiO2 + 6H2O | 5.36 |
Si3H8 + 5O2 → 3SiO2 + 4 H2O | 8.06 |
SiH2Cl2 + O2 → SiO2 + 2HCl | 2.68 |
2WF6 + 6H2 + 3O2 → 2WO3 + 12HF | 10.35 |
2WF6 + 3CH4 + 5O2 → 2WO3 + 3CO2 + 12HF | 10.35 |
2SF6 + 6H2 + 3O2 → 2SO3 + 12HF | |
2SF6 + 3CH4+5O2 → 2SO2 + 3CO2 + 12HF | |
F2 + H2 → 2HF | |
2F2 + CH4 + O2 → 4HF + CO2 | |
Si(C2H5O)4 +12O2 → SiO2 + 8CO2 + 10 H2O | 2.68 |
C2F6 + 3H2 + 2O2 → 6HF +2 CO2 | |
2C2F6 + 3CH4 + 7O2 → 7 CO2 + 12HF | |
N2O + H2 → N2 + H2O | |
4N2O + CH4 → 4N2 + 2H2O + CO2 | |
Kiki NITSU上等的客户服务
日本木麒制作所提供薄膜太阳能电池及新世代液晶PECVD的尾气处理系统, 主要包括有:
(1) 荣获德国TUV 认证的新型燃烧式CVD尾气处理设备NITSU
(2) 集中处理型弹匣式过滤材粉尘集尘机
Cartridge Filter type Particle Collector
(3)集中处理型酸排气水洗处理设备
Central Wet Scrubber
上海怀利环保设备有限公司荣获 Kiki 日本木麒原厂技术认证授权, 专注服务大中华区所有薄膜太阳能电池及大尺寸液晶TFT-LCD制造厂客户, 提供系统设备自规划、选机、承包施工、安装试车及全年保养维修、充裕零料件完整库存的**性整体专业服务。
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