FFU在洁净室中的应用优点 风淋室网
FFU（Fan Filter Unit）是一个自带送风机（无壳风机）的高效过滤器送风口，它与其专用龙骨系统（Ceiling Grid）、冷却盘管（一般为干盘管）、加压风机、新风系统以及专用灯具共同组成了FFU系统。FFU的新风由新风空调机处理至所需状态后送入静压箱内与回风混合后经FFU的风机加压后经HEPA或ULPA送入室内,再经架空地板或侧墙回至干盘管,在此经冷(热)处理后经由回压机送回至静压箱完成循环。这样的系统*为常用于有超静要求的洁净室，如大型集成电路晶圆的制造、**显示器如TFT、PDP等的制造、硬盘的制造等。其优点如下:
1、系统非常灵活，可随时调整
因洁净室的壁板都以天花板格子的模数来布置，并且由于其特殊的节点构造，洁净室的壁板可以随时调整位置，以此改变房间的布局。同时如果房间的洁净度需要调整，可以通过增减FFU数量的方法来实现。这对于通常集中送风的净化系统来说几乎是不可能的。
2、 出风均匀稳定
FFU因自带风机，出风均匀而稳定。避免了集中送风系统各送风口风量平衡的问题。对于垂直单向流洁净室尤为有利。
3、节能显著
FFU系统风管很少，除新风以风管送达外，大量的回风以小循环的方式在运行，因此大大减少了风管的阻力消耗。同时由于FFU的面风速一般为0.35~0.45m/s,过滤器阻力小,FFU的无壳风机功率很小,新型的FFU采用了高效率电动机,同时对风机叶轮形状也进行了改进,其综合效率以大为提高。据笔者估算，FFU系统一般可比集中送风的净化系统节能30%以上，使FFU系统在二、三年内就可通过节省电费把增加的初投资部分（与集中送风的净化系统相比）省回来。
4、 节省空间
FFU省去了巨大的送回风管，故可节省安装空间。对于层高紧张的改建项目非常合适。带来的另一个好处是因风管很少空间相对宽敞而使工期缩短。
5、 风口、灯具、烟感、喷淋、静电中和器等的合理布局
这些洁净室常用装置都在上有各自的安装天花板格子位置，既合理又美观。而在集中送风的净化系统里这些装置的布局经常冲突，吊顶显得拥挤不堪。
6、负压密封
FFU送风系统的静压箱为负压，因此即使风口安装存在泄漏，也是从洁净室向静压箱泄漏，不会形成对洁净室的污染。
FFU系统也有缺点：风机数量大，故障机率大。且因FFU布置在吊顶上，维修有一定困难。而集中风系统因设备较为集中，数量也少，易于维护。但这也不完全是缺点：FFU系统正是因为数量众多而分散，通常少量的FFU出现故障，并不能对洁净度造成严重的破坏。甚至可以在对洁净度几乎没有影响的情况下发现并修复故障单元。而集中送风系统只要一台AHU出现故障，就会造成大面积的洁净室停止运行，对生产的影响很大。在几乎所有的项目中，冷冻机、空压机、纯水设备、水泵、真空泵抢救无效都可以做到备份，尽量减少设备故障对生活的影响。唯独空调箱的备份几乎没用。FFU系统则在某种程度上达到了这个目的。
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