膜技术在纯水制造中的应用
纯水制造中应用的膜技术主要有电渗析（ED）、反渗透（RO）、纳滤（NF）、超滤（UF）、微滤（MF），其工作原理、作用等见表3。表3 纯水制造中常用的膜技术
| 膜组件名称 | ED | RO | NF | UF | MF |
| 微孔孔径 | | 5-50埃 | 15-85埃 | 50-1000埃（1μm） | 0.03-100μm |
| 工作原理 | 离子选择透过性 | 1.优先吸附-毛细管理论 2.氢链理论 3.扩散理论 | 同左 | 滤膜筛滤作用 | 同左 |
| 作用 | 去除无机盐离子 | 去除无机盐离子，以及有机物、微生物、胶体、热源、病毒等 | 去除二价、三价离子，M＞100的有机物，以及微生物、胶体、热源、病毒等 | 去除悬浊物、胶体以及M＞6000的有机物 | 去除悬浊物 |
| 组件形式 | 膜堆式 | 大多为卷式，少量为中空纤维 | 同左 | 大多为中空纤维，少量为卷式 | 摺迭滤筒式 |
| 工作压力（Mpa） | 0.03-0.3 | 1-4 | 0.5-1.5 | 0.1-0.5 | 0.05-0.5 |
| 水回收率（%） | 50-80 | 50-75 | 50-85 | 90-95 | 100 |
| 使用寿命（年） | 3-8 | 3-5 | 3-5 | 3-5 | 3-6个月 |
| 水站位置 | 除盐工序 | 除盐工序 | 1.除盐工序 2.RO前的软化 | 大多为纯水站终端精处理，少数为RO前的预处理 | 1.RO、NF、UF前的保安过滤(3-10μm) 2.离子交换后滤除树脂碎片(1μm) 3.UV后滤除**死体(0.2或 0.45μm) 4.纯水站终端过滤(0.03-0.45μm) |
与传统的水处理技术相比，膜技术具有工艺简单、操作方便、易于自动控制、能耗小、无污染、去除杂质效率高、运行成本低等优点，特别是几种膜技术的配合使用，再辅之以其他水处理工艺，如石英砂过滤、活性炭吸附、脱气、离子交换、UV**等，为去除水中的各种杂质，满足日益发展的电子工业对高纯水的需要，提供了有效而可靠的手段，而且也只有应用了多种膜技术，才能生产出合格、稳定的高纯水，才能生产出大规模、超大规模、甚大规模集成电路（LSI、VLSI、ULSI），从而使计算机、雷达、通讯、自动控制等现代电子工业的发展和应用得以实现。值得一提的是：当原水的含盐量大于400mg/L时，纯水制造的除盐工序采用RO-离子交换工艺后，比早先单用离子交换可节约酸、碱90%左右，使离子交换柱的周期产水量提高10倍左右[7]，事实证明，可以降低纯水制造的运行费用和制水成本，可以减少工人的劳动强度，可以减少对环境的污染，并可使纯水水质得到提高并长期稳定。据统计，在我国电子工业引进的纯水制造系统中，有RO的约占系统总数的90%，有UF的约占20%，有MF的几乎为100%[8]，而ED在我国国产的纯水系统特别是早期投产的纯水系统，以及为数众多的对纯水水质要求不高的一般电子元器件（如电阻、电容、黑白显像管、电子管等）制造厂的纯水系统中占有相当的比例。
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