洁净工作区空气洁净度的测试方法
对于粒径大于或等于0．5微米的尘粒计数，宜采用光散射粒子计数法。对于粒径大于或等于5微米的尘粒计数。也可采用滤膜显微镜计数法。
光散射粒子计数法：
1、光散射粒子计数器采样量
100级：每次采样量大于或等于1升。
l，000级－l0,000级：每次采样量大于或等于0．3升。
100，000级：每次采样量大于或等于0．1升。
对于100级洁净室，宜采用大流量粒子计数器进行测试；如果条件不具备时，可采用每次采样量不小于1升的粒子计数器。
2、采样注意事项
（1）采样管必须干净，连接处严禁渗漏。
（2）采样管的长度，应根据仪器的允许长度。当无规定时，不宜大于1．5米。
（3）采样管口的流速，宜与洁净室断面平均风速相接近。测试人员应在采样口的下风侧。
（4）采样顺序应按含尘浓度从低到高进行。
3、测点布置
（l）检测在洁净工作区内进行。当生产工艺无特殊要求时，取样高度宜为离地面1米。
（2）层流洁净室测点总数不小于20点，测点间距为0．5～2．0米，粒径大于或等于0．5微米的尘粒数允许有一个点超过。水平层流洁净室测点仅布置在**洁净工作区内。
（3）乱流洁净室可按洁净面积小于或等于50平方米布置5个测点。每增加20－50平方米，增加3--5个测点。
4、数据整理
（1）每个测点的数据整理应在测试仪器稳定运行的条件下连续三次采样，取其平均值，即为该点的实测数值。
（2）对于大于或等于0．5微米的尘粒数确定：层流洁净室取各测定点*大值，乱流洁净室取各测点的平均值。
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