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洁净室的性能测试和综合评价 洁净工程师培训教材

      洁净室的性能测试和综合评价 洁净工程师培训教材

1、洁净室的性能测试:

洁净室性能测试内容包括:

洁净度测试、风量测试、正压测试、风速测试(单向流洁净室 )温度、相对湿度测试、噪声测试等。

①洁净度测试:采样点布置在工作面上(0.8~1.0m),采样点数量N=A1/2(A是洁净室面积‘m2’)。尘埃粒子计数器的采样量要大于1升/分;每个采样点连续有效采样三次。取其平均值做该点的测量值。全部测点的测量值的平均值作为洁净室的洁净度。

②风量或风速测试:单向流洁室测量断面风速、非单向流洁净室测其风量。

断面风速的测量:距吊顶上送风高效过滤器(HEPA)300mm处布置测点,测点间距为600mm,用热球风速仪测其各点风速。

风量测试:在送风管或送风口上测送风风量。方法是用比托管和微压差计,测风管内各点的动压,测点间距为100mm。再计算送风量。

③正压测试:在关门的状态下,测洁净室的正压。采用补偿式微压计测量。

2、洁净室的综合评价。

在对洁净室性能测试的基础上,根据对洁净室洁净度、温、湿度、正压、风量、噪声等测试结果,对洁净室的建设和性能进行竣工验收的综合评价。

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