ISO洁净室等级划分标准 净化工程网
| ISO等级序数（N） | 大于或等于表中被考虑的粒径的*大浓度限值 （pc/m3空气浓度限值按3.2中的公式计算） |
| 0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1μm | 5μm |
| ISO Class 1 | 10 | 2 |
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| ISO Class 2 | 100 | 24 | 10 | 4 |
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| ISO Class 3 | 1 000 | 237 | 102 | 35 | 8 |
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| ISO Class 4 | 10 000 | 2 370 | 1 020 | 352 | 83 |
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| ISO Class 5 | 100 000 | 23 700 | 10 200 | 3 520 | 832 | 29 |
| ISO Class 6 | 1 000 000 | 237 000 | 102 000 | 35 200 | 8 320 | 293 |
| ISO Class 7 |
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| 352 000 | 83 200 | 2 930 |
| ISO Class 8 |
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| 3 520 000 | 832 000 | 29 300 |
| ISO Class 9 |
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| 35 200 000 | 8 320 000 | 293 000 |
| 注：由于涉及测量过程的不确定性，帮要求用三个有效的数据来确定浓度等级水平。 |
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