洁净手术部建设标准:美国宇航局(NASA)标准NHB 5340.2
洁净室级 别 | 尘埃粒子数 | 生物粒子数 |
≥0.5μm | ≥5.0μm | 悬浮生物粒子 | 落下生物粒子 |
个/英尺3 | 个/升 | 个/英尺3 | 个/升 | 个/英尺3 | 个/升 | 个/m3 | 个/英尺3·周 | 个/ m2·周 | 个/Φ90·h |
100 | 100 | 3.5 | / | / | 0.1 | 0.0035 | 3.5 | 1200 | 12900 | 0.488 |
10,000 | 10000 | 350 | 65 | 2.5 | 0.5 | 0.0176 | 17.6 | 600 | 64600 | 2.450 |
100,000 | 100,000 | 3500 | 700 | 25 | 2.5 | 0.0884 | 88.4 | 30000 | 323000 | 12.200 |
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