日本工业标准JISB-9920-1989中的洁净度等级 净化工程网
| 粒径(μm) | 洁净度等级(个/m3) |
| 1级 | 2级 | 3级 | 4级 | 5级 | 6级 | 7级 | 8级 |
| 0.1 | 101 | 102 | 103 | 104 | 105 | 106 | 107 | 108 |
| 0.2 | 2 | 24 | 236 | 2360 | 23600 |
|
|
|
| 0.3 | 1 | 10 | 101 | 1010 | 10100 | 101000 | 1010000 | 10100000 |
| 0.5 | 0.35 | 3.5 | 35 | 350 | 3500 | 35000 | 350000 | 3500000 |
| 5.0 | / | / | / | / | 29 | 290 | 2900 | 29000 |
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