产品[
天津1700℃真空CVD系统
]资料
如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称:
天津1700℃真空CVD系统
产品型号:
CVD-1700
产品厂商:
万和
简单介绍
天津1700℃真空CVD系统由高温管式炉，高真空扩散泵/分子泵系统，多通道高精度数字质量流量控制系统，自动压强控制系统等组成。可实现本底真空达0.001—0.0001Pa混合气体化学气相沉积和扩散试验。
天津1700℃真空CVD系统的详细介绍
主要功能和特点：
1、真空系统可根据使用要求选择我司扩散泵机组或分子泵机组；
2、可配合压强控制仪控制气体压力实现负压的精准控制；
3、数字质量流量控制系统是由多路质量流量计，流量显示仪等组成，实现气体的流量的精密测量和控制；
4、每条气体管路均配备高压逆止阀，保证系统的**可靠。
5、采用水冷KF快速法兰密封，装卸方便快捷；
6、管路采用世界**Swagelok卡套连接，不漏气；
7、超温、过压时，自动切断加热电源及流量计进气，保证设备及实验的**性。主要用途和适用范围：适用于真空镀膜、纳米薄膜材料制备、纳米线生长等场所。主要技术参数：
主要技术参数：
|
SGL-1700
高温炉
|
控温方式
|
采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能，并可编制50段升降温程序。
|
|
加热元件
|
进口1700型上等硅钼棒
|
|
工作电源
|
AC220V 50Hz/60Hz；额定功率6kw
|
|
炉管材质
|
99瓷氧化铝刚玉管
|
|
炉管尺寸
|
Φ60/80/100*/1000mm
|
|
工作温度
|
≤1600℃
|
|
*高温度
|
1650℃
|
|
恒温精度
|
±1℃
|
|
升温速度
|
≤10℃/min
|
|
测温元件
|
B型热电偶
|
|
密封方式
|
不锈钢水冷KF法兰挤压密封
|
|
ZK
真空系统
|
|
ZK-F
|
ZK-K
|
|
真空范围
|
0.1-0.001Pa
|
0.1-0.01Pa
|
|
极限真空
|
5.0*10^-5Pa
|
5.0*10^-4Pa
|
|
产品配置
|
双级旋片真空泵+分子泵
|
双级旋片真空泵+扩散泵
|
|
冷却方式
|
风冷
|
水冷
|
|
抽 速
|
110L/S
|
100L/S
|
|
测量方式
|
复合真空计
|
|
真空规管
|
电阻规+电离规
|
|
ZDC-I
压强控制系统
|
测量范围
|
1*10^5～1*10^-1 Pa
|
|
稳压
(真空)范围
|
1*10^3～1*10Pa
|
|
压力
(稳定精度）
|
±3%
|
|
控制范围
|
2.5*10^3～5*10^-1 Pa
|
|
控制精度
|
± 1%
|
|
HQZ-Ⅲ
混气系统
|
控制方式
|
D07-7K质量流量计,D08流量显示仪
|
|
流量规格（可订制）
|
0－500SCCM /0－1SLM,
|
|
线 性
|
±1%F.S.
|
|
准确度
|
±1%F.S.
|
|
重复精度
|
±0.2%F.S.
|
|
响应时间
|
≤2sec
|
|
耐 压
|
3MPa
|
|
气路通道
|
3通道（根据客户需求）
|
|
针 阀
|
316不锈钢
|
|
管 道
|
Φ6mm不锈钢管
|
|
接 口
|
SwagelokΦ6mm
|
- 温馨提示：为规避购买风险，建议您在购买前务必确认供应商资质与产品质量。
- 免责申明：以上内容为注册会员自行发布，若信息的真实性、合法性存在争议，平台将会监督协助处理，欢迎举报