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美国联邦标准FS209E的空气洁净度级别

 
美国联邦标准FS209E的空气洁净度级别
级别名称
级别限制
0.1υm
0.2υm
0.3υm
0.5υm
5υm
容积单位
容积单位
容积单位
容积单位
容积单位
国际单位
英制单位
M3
ft3
M3
ft3
M3
ft3
M3
ft3
M3
ft3
M1
 
350
9.91
75.7
2.14
30.9
0.875
10.0
0.283
 
 
M1.5
1
1240
35.5
265
3.50
106
3.00
35.3
1.00
 
 
M2
 
35000
99.1
757
21.5
309
8.75
100
2.83
 
 
M2.5
10
12400
350
2650
75.5
1060
30.0
353
10.0
 
 
M3
 
35000
991
7570
214
3090
87.5
1000
28.3
 
 
M3.5
100
 
 
26500
750
10600
300
3530
100
 
 
M4
 
 
 
75700
2140
30900
875
10000
283
 
 
M4.5
1000
 
 
 
 
 
 
35300
1000
247
7.00
M5
 
 
 
 
 
 
 
1000
2830
618
17.5
M5.5
10000
 
 
 
 
 
 
35300
10000
2470
70.0
M6
 
 
 
 
 
 
 
1000000
28300
6180
175
M6.5
100000
 
 
 
 
 
 
35300
100000
24700
700
M7
 
 
 
 
 
 
 
1000000
28300
61800
1750
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